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行政院核定本部水利署署長由該署代理署長林元鵬真除，本部產業園區管理局局長由本部產業發展署署長楊志清調任，遞遺署長職缺由本部產業技術司司長邱求慧陞任，遞遺司長職缺由本部產業發展署組長郭肇中陞任

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矽晶圓(Silicon Wafer)/晶舟盒(Wafer Carrier)

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